∙ 매거진에 여러 장의 Wafer 삽입 후 자동 Loading하여 Vision Inspection 후 Auto Pick & Place
∙ 11 Axis Servo Motor, Linear Motion Guide 시스템으로서 기존 장비와 차별적인 Motion Control
∙ Incremental 방식의 위치결정으로 정확도 0.01mm의 초정밀 Positioning
∙ Single Head 2Para 사용으로 속도 및 정밀도 향상
∙ High Speed Pick & Place 가능
∙ Wafer to Tray 공정 (Small Device)