JT CORP

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BUSINESS Ongoing Investment in Technology and R&D

Research

RESEARCH CENTER

연구분야

㈜제이티는 반도체 검사 장비 분야에서 선도적 기술로 고객 맞춤 제품을 제공하는 기업으로서, 지속적인 기술투자와 연구개발을 통하여
국산화 장비 개발에 총력을 기울여왔으며, 현재도 끊임없는 열정과 도전정신으로 World best 기업 도약을 추진하고 있습니다.

Material
Handling

제어
Module

고속정밀
Stage

2D / 3D
Optic System

Laser
가공기술

  • Material Handling

    Mechanical

    • Compact design
    • Ultrasonic bonding head
    • Thermo-compression module
    • Thin-die handling technology
    • High-rigidity & light-weight module

  • 제어 Module

    Mechanism Motion

    • PSO (Position synchronized output) control
    • PWM (Pulse width modulation) control
    • VCM (Voice coil Motor) control
    • Heat profile control
    • Force control

  • 고속정밀 Stage

    Mechanical

    • High-rigidity & light-weight system
    • High-accuracy, high-speed positioning
    • Low-vibration design

    Motion Control

    • Anti-vibration control (Digital filter)
    • High-order motion profile
    • PID feed-forward control
    • 2D error mapping & error compensation algorithm

  • 2D/3D Optic System

    3D Measurement

    • Interferometry
    • Triangulation
    • Confocal

    Illumination

    • Optimal illumination
    • Slit beam

    Special Optic System

    • 5-S inspection module
    • mirror system

  • Laser 가공기술

    Machining Method

    • Filamentation, Ablation

    Illumination

    • Optimal illumination
    • Slit beam
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